-
1 способ формирования маски
Большой англо-русский и русско-английский словарь > способ формирования маски
-
2 способ формирования маски
Англо-русский словарь технических терминов > способ формирования маски
-
3 masking technique
1) Техника: способ формирования маски2) Полиграфия: техника маскирования3) Электроника: способ маскирования4) Вычислительная техника: метод масок, метод трафаретов, техника масок, техника трафаретов, технология( изготовления ИС) с использованием масок, технология (изготовления ИС) с использованием трафаретов, технология изготовления ИС с использованием масок (трафаретов), трафаретная техника5) Картография: маскировочная техника (в цветоделении)6) Микроэлектроника: метод маскирования, метод формирования маскирующего слоя -
4 masking technique
электрон. способ маскирования; способ формирования маскиАнгло-русский словарь технических терминов > masking technique
-
5 фотолитография
ФотолитографияСпособ формирования рельефного покрытия заданной конфигурации с помощью фоторезистов. Является одним из методов планарной технологии и применяется для изготовления интегральных микросхем, печатных плат, запоминающих устройств, высокочастотных приборов и др. Обычно включает стадии: нанесения фоторезиста на металл, диэлектрик или полупроводник; его сушку для улучшения адгезии к подложке; экспонирование видимым или УФ излучением через фотошаблон (стекло, кварц и др.) с заданным рисунком для формирования скрытого изображения; проявление (визуализацию) скрытого изображения путем удаления фоторезиста с облученного (позитивное изображение) или необлученного (негативное) участка слоя вымыванием водно-щелочными и органическими растворителями, либо возгонкой в плазме высокочастотного разряда; термическую обработку (дубление) полученного рельефного покрытия (маски) для увеличения его стойкости при травлении; травление участков свободной поверхности травителями кислотного типа или сухими методами; удаление маски растворителями или выжиганием кислородной плазмой. При изготовлении интегральных схем процесс повторяют многократно на различных технологических слоях материала и при этом каждый последующий рисунок должен быть совмещен с предыдущим. -
6 photolithography
ФотолитографияСпособ формирования рельефного покрытия заданной конфигурации с помощью фоторезистов. Является одним из методов планарной технологии и применяется для изготовления интегральных микросхем, печатных плат, запоминающих устройств, высокочастотных приборов и др. Обычно включает стадии: нанесения фоторезиста на металл, диэлектрик или полупроводник; его сушку для улучшения адгезии к подложке; экспонирование видимым или УФ излучением через фотошаблон (стекло, кварц и др.) с заданным рисунком для формирования скрытого изображения; проявление (визуализацию) скрытого изображения путем удаления фоторезиста с облученного (позитивное изображение) или необлученного (негативное) участка слоя вымыванием водно-щелочными и органическими растворителями, либо возгонкой в плазме высокочастотного разряда; термическую обработку (дубление) полученного рельефного покрытия (маски) для увеличения его стойкости при травлении; травление участков свободной поверхности травителями кислотного типа или сухими методами; удаление маски растворителями или выжиганием кислородной плазмой. При изготовлении интегральных схем процесс повторяют многократно на различных технологических слоях материала и при этом каждый последующий рисунок должен быть совмещен с предыдущим.
См. также в других словарях:
ФОТОЛИТОГРАФИЯ — способ формирования рельефного покрытия заданной конфигурации с помощью фоторезистов. Ф. обычно включает: 1) нанесение фоторезиста на металл, диэлектрик или полупроводник методами центрифугирования, напыления или возгонки; 2) сушку фоторезиста… … Химическая энциклопедия
Изобретение интегральной схемы — Основная статья: Интегральная схема Идею интеграции множества стандартных электронных компонентов в монолитном кристалле полупроводника впервые предложил в 1952 году британский радиотехник Джеффри Даммер[en]. Год спустя Харвик Джонсон подал… … Википедия
БУМАГА И ПРОЧИЕ ПИСЧИЕ МАТЕРИАЛЫ — Первые способы получения бумаги отрабатывались на протяжении длительного времени. Известны довольно ранние (868 н.э.) китайские оттиски на бумаге с искусно выполненных на религиозные темы резных изображений по дереву. Производить бумагу в Европе… … Энциклопедия Кольера
фотолитография — Photolithography Фотолитография Способ формирования рельефного покрытия заданной конфигурации с помощью фоторезистов. Является одним из методов планарной технологии и применяется для изготовления интегральных микросхем, печатных плат,… … Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.
photolithography — Photolithography Фотолитография Способ формирования рельефного покрытия заданной конфигурации с помощью фоторезистов. Является одним из методов планарной технологии и применяется для изготовления интегральных микросхем, печатных плат,… … Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.
Электронно-лучевая трубка — Принципиальная схема одного из видов ЭЛТ Электронно лучевая трубка[1] (ЭЛТ), кинескоп электровакуумный прибор, преобразующий электрические сигналы в световые. В строгом смысле, электронно лучевыми трубкам … Википедия
Кинескоп — О телепрограмме см. Кинескоп (телепередача). П … Википедия
ЭЛТ — Принципиальная схема одного из видов ЭЛТ Электронно лучевая трубка[1] (ЭЛТ), кинескоп электровакуумный прибор, преобразующий электрические сигналы в световые. В строгом смысле, электронно лучевыми трубками называют[2] ряд электронно лучевых… … Википедия
ЭЛТ монитор — Принципиальная схема одного из видов ЭЛТ Электронно лучевая трубка[1] (ЭЛТ), кинескоп электровакуумный прибор, преобразующий электрические сигналы в световые. В строгом смысле, электронно лучевыми трубками называют[2] ряд электронно лучевых… … Википедия
ЭЛТ-монитор — Принципиальная схема одного из видов ЭЛТ Электронно лучевая трубка[1] (ЭЛТ), кинескоп электровакуумный прибор, преобразующий электрические сигналы в световые. В строгом смысле, электронно лучевыми трубками называют[2] ряд электронно лучевых… … Википедия
ЭЛТ-мониторы — Принципиальная схема одного из видов ЭЛТ Электронно лучевая трубка[1] (ЭЛТ), кинескоп электровакуумный прибор, преобразующий электрические сигналы в световые. В строгом смысле, электронно лучевыми трубками называют[2] ряд электронно лучевых… … Википедия
